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多功能复合离子注入机

多功能复合离子注入机等效模拟裂变堆/聚变堆辐照环境的材料辐照效应,解决了当前裂变堆/聚变堆材料中子、H/He等辐照剂量不足、辐照时间延长等问题。该设备引入了多套辅助系统,包含可移动束流扫描系统、磁分析系统和电聚焦系统等,可大幅提高离子注入的精度及均匀度。

该设备可达到以下关键技术指标:

(1)离子源最高工作电压100 kV、稳定工作时间可达100小时、产生多种气体离子(N、H、O、Ar等)和金属离子(Cr、C、Fe、Ti、Ni、Au等);

(2)真空室工作真空6¬×10-4 ~1.7¬×10-3 Pa、空载极限真空度达到8×10-5 Pa、安装可移动束流密度测量系统;

(3)磁分析系统:分析精度0.5%。

同时,该设备在实现原有功能的基础上,还具备了其他注入机没有的优点:

(1)可注入多种气体、金属和非金属离子;

(2)可测量束流大小及密度分布;

(3)可根据离子质量精确筛选不同价态的离子;

(4)可有效控制束斑大小,抑制能散。


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